離子去膠機(jī) 型號(hào)：PR-3

離子去膠機(jī) 

通過(guò)等離子體方法，對(duì)陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng)，主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)等部分組成。 
射頻電源采用RF500W電源控制。 
氣路系統(tǒng)采用兩臺(tái)浮子流量計(jì)控制氣體進(jìn)氣。
  腔室結(jié)構(gòu)：臥式、純石英
  真空室規(guī)格：F210´300mm
  限真空：1Pa（環(huán)境濕度≤55%）
  真空系統(tǒng):機(jī)械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量：4英寸 25片/爐
  去膠速率: ～500A/min
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內(nèi))
  操作方式:手動(dòng)方式
用戶(hù)可選配全自動(dòng)控制方式

通過(guò)等離子體方法，對(duì)陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進(jìn)行干法去除。設(shè)備為單室真空系統(tǒng)，主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)等部分組成。 
射頻電源采用RF500W電源控制。 
氣路系統(tǒng)采用兩臺(tái)浮子流量計(jì)控制氣體進(jìn)氣。
  腔室結(jié)構(gòu)：臥式、純石英
  真空室規(guī)格：F210´300mm
  限真空：1Pa（環(huán)境濕度≤55%）
  真空系統(tǒng):機(jī)械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量：4英寸 25片/爐
  去膠速率: ～500A/min
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內(nèi))
  操作方式:手動(dòng)方式
用戶(hù)可選配全自動(dòng)控制方式

產(chǎn)品名稱(chēng)：電子皂膜流量計(jì) 產(chǎn)品型號(hào)：BL100

電子皂膜流量計(jì) 型號(hào)：BL100

應(yīng)用領(lǐng)域：于任何氣體或液體流量的檢測(cè)，廣泛應(yīng)用于各類(lèi)實(shí)驗(yàn)室氣體流量的校準(zhǔn)，包括大氣采樣器的流量校準(zhǔn)、粉塵采樣器的流量校準(zhǔn)，玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)的校準(zhǔn)，以及各類(lèi)色譜儀的流量測(cè)定。
 
產(chǎn)品描述：
BL系列電子皂膜流量計(jì)通過(guò)其內(nèi)部的電路控制單元與敏感元件相結(jié)合來(lái)測(cè)量氣體流量，其精度大大優(yōu)于用眼與手掐秒表測(cè)定氣體流量的做法，是取代手持式皂膜管加秒表的Z佳選擇。該系列電子皂膜流量計(jì)液晶顯示，具有溫度、壓力、容積的校正功能，用戶(hù)通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)自我校正，可得出被測(cè)氣體的體積流量，可單次測(cè)定氣體流量，也可以對(duì)流量測(cè)定十次后取平均值。
技術(shù)參數(shù)：
Ø 測(cè)量范圍：0.1mL～100mL/min 
Ø 測(cè)量精度：△Q﹤±1％。
Ø 測(cè)量方式：濕式 
Ø 時(shí)間范圍：0.1～1200.0s(內(nèi)部計(jì)算精確到0.01秒)。
Ø 內(nèi)裝標(biāo)稱(chēng)值為8.4V、1200mA/h的充電電池，充滿(mǎn)電后待機(jī)時(shí)間﹥300小時(shí)。
充電次數(shù)﹥500次。
Ø 使用環(huán)境：0～45℃；0～70%RH（無(wú)結(jié)露）
Ø 重量：約950 g